干式無油真空泵
近來，半導(dǎo)體芯片制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無油的渦輪分子泵、復(fù)合分子泵在該領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。但是，前級泵還沒有真正解決真空系統(tǒng)無油污染的技術(shù)難題。1984年以前研制過一些實(shí)驗(yàn)室和專門用途的干式泵。但價格昂貴、運(yùn)行間隙過小，很難在商業(yè)上推廣應(yīng)用。國外首先研制了工業(yè)上實(shí)用的干式真空泵，將羅茨泵進(jìn)行六級串聯(lián)。之后又出現(xiàn)羅茨和爪型轉(zhuǎn)子組合起來的無油泵。總之，相繼出現(xiàn)了多種型式的干式泵，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
干式真空泵也稱為無油真空泵。在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體。排氣口與大氣相通，能連續(xù)向大氣中排氣。能產(chǎn)生10.2Pa壓力范圍的真空。
干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業(yè)的未來經(jīng)濟(jì)效益，小編在這里著重講下干式真空泵怎么進(jìn)行優(yōu)化選擇?
對于這些不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。
現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來，使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性考慮進(jìn)去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e會引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計為單級設(shè)計，同多級泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。
綜合考慮，如果用戶認(rèn)為耗電量對他來說最為重要而氮?dú)庥昧繉λ麃碚f最不重要，那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。但普遍說來，對尾氣處理越來越嚴(yán)格的要求使得將來對減少氮?dú)獾挠昧孔兊酶匾Ｈ绻阆Ｍ脝我活愋偷谋貌唤?jīng)過改變來處理各種不同的半導(dǎo)體工藝，而使得你的庫存控制簡單化，那么外部壓縮型螺桿式是你最好的選擇。
根據(jù)具體情形，綜合以上所有設(shè)計類型的優(yōu)點(diǎn)一定是最理想的選擇，但目前還不太可能。因此，這就要求使用者首先要知道在干式泵的設(shè)計上有著如此多的不同設(shè)計類型，進(jìn)而根據(jù)自身工藝特點(diǎn)了解各種不同類型泵的設(shè)計對其影響。這樣做出的選擇才能夠盡可能降低其使用成本，而獲得一個壽命較長的穩(wěn)定的真空系統(tǒng)
