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1.真空度不高
　　(1)真空泵溫度太高，1.被抽氣體運轉溫度太高。應讓氣體冷卻后再進入真空泵內，2.吸入硬物招致真空泵體磨損。應拆開真空泵消除硬物，對劃傷部件停止修復或調換，3.真空泵冷卻水流最不敷。應加大冷卻水流量，4.裝置欠妥，使轉子軸心位移，形成單面磨損。應拆開反省并從新裝置。
　　(2)真空泵油有問題，1.油位太低。應加足油量到油標中心線，2.油被沾污，油質變壞。應調換新油，3.油的商標不符。應換劃定商標的真空泵油，4.油路欠亨，真空泵腔內沒有堅持恰當的油量。應反省油路及油閥的進油量，堅持油路通順。
　　(3)真空泵自己漏氣：1.密封圈漏氣。應反省一切密封部位的密封環境，調換破壞的密封圈，2.氣鎮閥墊圈毀壞：或未擰緊。應調換墊圈并擰緊氣鎮閥；3.排氣閥片毀壞，密封欠好。應調換氣閥片；4.真空泵中隔板壓入時過盈量太大，形成真空泵腔變形而漏氣。應修整真空泵腔或調換，5.因為真空泵的端面油密封不良形成漏氣。應拆開始蓋，反省能否有雜物或不平坦，并停止洗濯或補綴。
　　(4)轉子彈簧變形或折斷及旋片舉措不靈。應整修或調換彈簧變形，使轉子積旋片共同優越，
　　(5)進氣口的過濾網被梗塞。應取下過濾網洗濯清潔，再裝下來，
　　(6)因加工不良或磨損形成共同間隙過大。應反省真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的共同間隙，投劃定的精度請求停止修復或調換。
　　(7)真空泵運轉中磨擦發燒.溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫，同時，反省無關部件共同間隙并按劃定精度請求停止補綴或調換。
　　機電、真空泵運非常機電超負荷運轉、真空泵在運轉中非常雜音、噪聲、遷移轉變艱苦或發生“卡死”征象。
　　(1)真空泵溫太高，可參照1款(1)項處置，
　　(2)彈簧變形或斷裂，使旋片受力不平均而收回沖擊聲；應調換彈簧；
　　(3)裝置欠妥，形成單面磨損，應從新裝置；
　　(4)過濾網毀壞，金屬屑、玻璃屑等落入真空泵內，使運轉發生阻礙。應拆真空泵反省、消除碎屑，修復或調換磨損部件，并裝好過濾網，
　　(5)真空泵腔內凈化重大，招致整機銹蝕。應拆真空泵請洗，去除銹斑，并換油，
　　(6)真空泵油釀成乳濁狀.粘度增大。應調換新的真空泵油，
　　(7)真空泵腔、軸和軸套共同過緊，緊成光滑不良。應從新裝置并疏浚和調理油路，增強光滑，
　　(8)機電有毛病而發生噪聲。應檢驗機電或給軸承加之光滑黃油。
　　真空泵漏油、噴油
　　(1)轉軸、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈毀壞或裝置不正確。應細心反省并調換玻損的密封圈，裝置螺時，使勁要平均，
　　(2)因先后端面不平坦或端板未壓緊，形成端面漏油。應將端面修平并壓緊先后端板；
　　(3)進氣口壓強太高。應想法削減進宇量，
　　(4)箱體有漏孔。應反省謂孔部位并堵死，
　　(5)油量過量發生噴油，應放出過剩的油，
　　(5)排氣蓋下面的擋油網裝反惹起噴油，應從新裝擋油網；
　　(7)忽然裸露大氣惹起噴油。應立即封閉低真空閥。
　　真空泵起動艱苦
　　(1)真空泵已返油，用手扳動皮帶輪旋轉數周，便可起動，
　　(2)因為歷久不運轉或停機后未放入大氣，使真空泵腔內充斥真空泵油。用手扳動皮帶輪旋轉數周，便可起動，
　　(3)油溫太低，應給油加溫或讓室內溫度堅持在15度以上，也能夠用手扳動皮帶輪旋轉數周，再繼續通電運轉數分鐘，便可失常事情
　　(4)油已蛻變，應調換新的真空泵油，
　　(5)電源缺相，應檢驗電源。