旋片真空泵的來歷
現有普通的機械真空泵，利用電機帶動轉子運轉，轉子上的旋片在定子的內圓面上運動，使得轉子與定子之間的容積變化，進而產生真空，但該機械真空泵必須要有較高的密封度，才能產生高的真空度，另外轉子在定子內轉動的過程中與定子的內圓面摩擦容易產生大量的熱，影響到真空泵的運轉，使得真空腔內壓力大，不便于吸氣，同時會影響密封件的性能。
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12 Pa以上的超高真空范圍。
由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。
旋片式真空泵主要由泵體（靜子）和轉子組成。在轉子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉子偏心地裝在泵腔內，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉子旋轉時，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復滑動并與泵腔內壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個或幾個可變容積的工作室。轉子順時針方向旋轉時,與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時,與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣，轉子連續轉動，泵便不斷抽氣。
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